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SiC Crystal Growth Furnace
碳化硅电阻炉
 
碳化硅长晶炉是一种在特定环境下,使碳化硅原料经过气相传输、化学反应等过程,运用电阻加热的方式在籽晶上生长出高品质的碳化硅单晶的设备。
  • 晶锭尺寸

    8-12inch

  • 晶锭厚度

    20-60mm

  • 控压/控温精度

    ±1Pa/±0.2℃

高精度智能化控制系统,高效率高稳定性
多温区高精度控温
全自动智能控制系统
支持远程集控
高效率高稳定性
高精度控压
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+86-0510-81816658

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